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        1. 微觀裝置的制造及其處理技術
          • 基于MEMS工藝制備CIGS薄膜太陽能電池的方法與流程
            本發明屬于微機工藝的太陽能電池,尤其涉及一種以MEMS工藝制作銅銦鎵硒CIGS薄膜太陽電池的方法。能源危機和環境污染是當今全球所面臨的兩大基本問題。Cu(In,Ga)Se2(CIGS)薄膜對可見光吸收系數高,禁帶寬度合適,抗輻射能力強、電池性能穩定、弱光性好等優點,被認為是最有前途...
          • 一種微機械靜電驅動的弧形梳齒結構的制作方法
            本發明涉及一種微機械靜電驅動,特別是一種微機械靜電驅動的弧形梳齒結構。靜電驅動是微機械驅動技術的一種重要方式,在目前的MEMS領域有廣泛的應用。目前在靜電驅動結構中最常見的是矩形平板式梳齒陣列結構。但是目前的矩形梳齒靜電驅動器存在著驅動力偏小、驅動電壓過高的問題。而微機電器件的應用...
          • 一種微結構操作方法及操作裝置與流程
            本發明涉及微結構,特別涉及一種微結構裝配方法,還涉及一種微結構的裝配裝置。近年來,隨著微機電系統、光學成像、顯微醫療等領域技術水平的快速發展,微操作技術越來越引起人們的重視。微操作技術對于未來的微納米技術,小型化、功能化和集成設備的制造有著不可替代的地位。不同于宏觀領域操作,微觀尺...
          • 一種具有定向運輸功能的超疏水表面的制備方法與流程
            本發明涉及超疏水表面加工處理領域,具體地說是涉及一種具有定向運輸功能的超疏水表面的制備方法。超疏水表面是一種受“荷葉效應”啟發所制備的仿生功能性表面,通常其水滴接觸角大于150°,滾動角小于10°。荷葉表面的微米乳突狀結構上還存在著納米結構,這種微納復合結構對超疏水性有重要的影響,正是由于...
          • 一種基于MEMS工藝的多層結構離子源芯片及質譜分析進樣系統的制作方法
            本發明涉及一種質譜分析設備,尤其是一種基于MEMS工藝的多層結構離子源芯片及質譜分析進樣系統。質譜分析法是根據帶電粒子在電磁場中能夠偏轉的原理,按物質原子、分子或分子碎片的質量差異進行分離和檢測的方法。傳統機械加工方法導致質譜儀體積龐大、價格昂貴、操作步驟繁雜、不能對樣品實時快速檢...
          • 一種在陽極鍵合中應用的PEG基復合固體聚合物電解質的制備工藝的制作方法
            本發明屬于陽極鍵合材料制備領域,特別是涉及一種在陽極鍵合中應用的PEG基復合固體聚合物電解質的制備工藝。微機電系統(MEMS)被譽為信息革命的再一次技術浪潮。陽極鍵合技術是MEMS封裝的有效手段,但現有的陽極鍵合封裝工藝及封裝鍵合材料仍然存在許多亟待解決的問題,而工藝方面的問題也主要是由于...
          • 一種動態快速調控紅外光透過率的柔性器件及其制備方法和應用與流程
            本發明屬于柔性器件制備,具體涉及一種動態快速調控紅外光透過率的柔性器件及其制備方法和應用。全球氣候變暖是全人類共同面對的問題。人們不斷探索新的有效方法來減少氣候變化對人類帶來的危害。能源技術的更新換代越來越快,與經濟的發展也緊密相連。目前,人們探索到的有效的解決方法之一是節能工程。...
          • MEMS SOI晶圓以及MEMS傳感器的制作方法
            本實用新型涉及一種MEMSSOI晶圓及制備方法以及應用該MEMSSOI晶圓和制備方法的MEMS傳感器及其制備方法,屬于MEMS傳感器。MEMS膜結構對于MEMS傳感器來說,尤其是MEMS壓力傳感器,具有舉足輕重的地位。早期的MEMS膜結構通常采用半導體工藝傳統的各向異性濕法腐蝕...
          • 一種微電極陣列的制備方法與流程
            本發明涉及感光凝膠,尤其涉及一種微電極陣列的制備方法。微電極陣列具有尺寸小、集成度高、具有非常高的傳質速率及電極信噪比、相應速度快、靈敏度高等優點,在電化學、傳感器、微電子等領域具有十分廣泛的應用。傳統的薄膜微電極陣列主要借助于MEMS中的光刻技術。該方法利用感光介質的光學-化學反...
          • 電連接方法及半導體結構與流程
            本發明涉及MEMS晶圓的封裝制造領域,尤其是涉及一種電連接方法及半導體結構。微機電系統(Micro-Electro-MechanicalSystem,簡稱MEMS),也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等,是在微電子技術(半導體制造技術)基礎上發展起來的,是集微傳感器、微執行器、微機械結...
          • 在微電子機械系統(MEMS)器件的叉指式電容器中形成偏移的制作方法
            本公開涉及微電子機械系統領域。微電子機械系統(MEMS)器件可以包括使用微加工技術制造的器件,諸如換能器、傳感器、致動器等。MEMS器件可以通過測量換能器的物理狀態的變化并且將已轉換信號傳送到與MEMS器件連接的處理電子器件來感測來自環境的信息。MEMS器件可以使用類似于用于集成電路的微加...
          • 用于處理微機電系統組件的方法與流程
            本發明實施例涉及一種用于處理微機電系統(MEMS)組件的方法。微機電系統(Microelectro-mechanicalsystem;MEMS)運動傳感器現廣泛用于汽車用電子設備、醫療設備、硬盤驅動器以及便攜式消費電子產品。舉例來說,典型的智能手機包括MEMS加速度計、陀螺儀以及可...
          • MEMS傳感器以及提供和運行MEMS傳感器的方法與流程
            本公開涉及MEMS傳感器,特別是用于與流體相互作用的MEMS傳感器,例如MEMS麥克風或MEMS壓力傳感器。本公開還涉及提供這種MEMS傳感器的方法以及運行MEMS傳感器的方法。本公開還描述了MEMS麥克風的魯棒讀出。MEMS傳感器可以使用不同的物理效應來執行傳感測量。這種情況的一個例子是...
          • 具有偏向控制的壓電麥克風及其制造方法與流程
            本揭示內容是有關于半導體制造以及有關于所產生的裝置。特別是,本揭示內容是有關于一種具有偏向控制且防止粘滯(stiction)的壓電麥克風。壓電麥克風為通過與實體接觸來感測聲頻振動且對空氣不敏感的一種裝置。壓電麥克風可用來作為漏音探針與用于氣體聲學測試,且有不限于空氣的許多其他用途。請參考圖...
          • 一種基于溶劑蒸發的微米級凹坑生成方法與流程
            本發明涉及微納米器件制備領域,特指一種基于溶劑蒸發的微米級凹坑的批量制備方法和工藝過程。微米級凹坑是一種尺寸在幾微米到幾百微米的凹坑,它在細胞生長、化學微反應器、光子晶體成核以及納米氣泡液滴成核方面都有著廣闊的應用前景。目前已有多種方法用于制備微米級凹坑,如軟光刻法、溶劑液滴腐蝕法以及模板...
          • 微機電裝置及其制造方法與防止信號衰減的方法與流程
            本發明關于一種微機電裝置,特別是一種具有防止信號衰減功能的微機電裝置及其制造方法與防止信號衰減的方法,藉以防止一電信號發生信號損失的情形。在半導體制程中,大多數的元件制作皆自金屬層與氧化層的連續制程而來。其中,微機電(Micro-Electro-Mechanical-System,以下簡稱...
          • 微機電系統及其制造方法與流程
            本公開涉及一種半導體封裝裝置,所述半導體封裝裝置包含微機電系統(MEMS)及其制造方法。MEMS(如本文中所使用,術語“MEMS”可用于指代單個微機電系統或多個微機電系統)可用于半導體裝置中以檢測信號(例如聲音、動作或運動、壓力、氣體、濕度、溫度等)以及將所檢測的信號轉換為電信號。半導體裝...
          • 一種硅基防水膜及其制備工藝及麥克風封裝結構的制作方法
            本發明涉及防水膜,尤其涉及一種硅基防水膜及其制備工藝及麥克風封裝結構。隨著智能電子產品(例如手機、相機、腕式手機等)的發展,人們對于電子產品輸出聲音的質量以及是否能抵抗環境中水分的影響的要求日益增高,除了希望電子產品能防水外,部分市面上的電子產品更是標榜能達到高等級的防水作為賣點。...
          • 用于將納米線從流體傳遞到襯底表面的方法與流程
            本發明涉及納米裝置的形成,并且具體涉及捕獲和對準納米線以制造納米裝置。更具體地,本公開涉及用于將定向納米線從流體傳遞到襯底表面的方法。用于捕獲表面上的納米結構的常規技術集中于對準和捕獲/沉積具有小的長度/直徑比(例如,納米棒、納米顆粒)的納米結構。然而,對具有可觀長度/直徑比(例如,納米線...
          • 核殼等離子體納米間隙的納米結構材料的制作方法
            本申請要求2016年3月24日提交的新加坡專利申請No.10201602345W的優先權,其全部內容通過引用并入本文。各種實施例涉及核殼等離子體納米結構材料,用于制備核殼等離子體納米結構材料的方法,以及核殼等離子體納米結構材料在傳感、光電子學或治療診斷學中的用途。局域表面等離子體(...
          技術分類
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              1. 广东快乐十分开奖直播
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