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        1. 微觀裝置的制造及其處理技術
          • 本發明屬于圖形化襯底制備,具體涉及一種無需光刻技術制備圖形化硅襯底的方法。圖形化襯底是制備納米線、納米管和納米棒等納米結構的必備條件,其工藝過程常通過在襯底上做一層掩膜,用標準的光刻工藝將掩膜刻出圖形,隨后用刻蝕技術在襯底上形成圖形。這一工藝過程的核心是光刻工藝,直接決定著納米結構...
          • 本發明涉及微納馬達,尤其是涉及一種多級微納馬達的制備方法。微納馬達是一種能被多種能量(化學能、光能、聲能、電能、磁能等)激活而發生運動(旋轉、穿梭、聚集、擴散等),且尺寸為微米或納米級的微觀器件。微納馬達的研究熱潮逐漸滲透到化學、物理學、生物學、環境學、摩擦學、流體力學等多個學科,...
          • 本發明涉及半導體,具體而言涉及一種MEMS器件的制作方法。在電子消費領域,多功能設備越來越受到消費者的喜愛,相比于功能簡單的設備,多功能設備制作過程將更加復雜,比如需要在電路版上集成多個不同功能的芯片,因而出現了3D集成電路(integratedcircuit,IC)技術。其中,...
          • 本發明屬于微機電系統MEMS,具體涉及一種用于MEMS器件隔振的雙層隔振結構及制備方法。微機電系統MEMS是集微機械與微電子功能于一體的微型機電器件或系統,基于MEMS技術的器件(如MEMS傳感器、驅動器)體積小、重量輕、功耗低、耐用性好、價格低廉、性能穩定等優點而廣泛應用,尤其...
          • 本發明涉及半導體,具體而言涉及一種MEMS器件及其制備方法、電子裝置。隨著半導體技術的不斷發展,在傳感器(motionsensor)類產品的市場上,智能手機、集成CMOS和微機電系統(MEMS)器件日益成為最主流、最先進的技術,并且隨著技術的更新,這類傳動傳感器產品的發展方向是規...
          • 本申請涉及細微加工領域,具體而言,涉及一種封閉結構、其制作方法與器件。隨著微機電系統(MEMS)技術的發展,基于微流道散熱器、微流道生物芯片、微流控等技術及器件的應用也越來越廣泛。為了將微槽道內填充的流動介質封閉在微槽道內,則需要一定的封閉方案和技術來實現。傳統的封閉一般采用真空釬焊、擴散...
          • 本發明涉及半導體領域,具體地,本發明涉及一種MEMS器件及其制備方法、電子裝置。隨著半導體技術的不斷發展,在傳感器(motionsensor)類產品的市場上,智能手機、集成CMOS和微機電系統(MEMS)器件日益成為最主流、最先進的技術,并且隨著技術的更新,這類傳動傳感器產品的發展方向是...
          • 本發明屬于硅藻土材料,具體涉及一種納米級硅藻殼顆粒單層陣列及其制備方法。硅藻是一種單細胞的藻類,其個體很小,一般為微米級或者毫米級,硅藻死亡后的殘骸在海洋或者湖泊中沉積,形成硅藻土。硅藻土的主要成分是二氧化硅,還含有少量的鋁、鐵、鈣、鎂、鈉、鉀和磷等,硅藻土具有多孔性,密度小,比表...
          • 本公開涉及銀納米粒子墨水組合物及其用途。更具體地,本公開涉及包括涂布在塑料襯底上的銀納米粒子墨水的電子部件和增強對其粘附力的方法。背景本章節中的說明僅提供與本公開相關的背景信息,并且可以不構成現有技術。導電墨水正越來越多地用于形成在多種2-D和3-D電子應用中的印刷元件,如天線或傳感器。然而,導電...
          • 消費電子設備正逐漸變得越來越小,并且隨著技術的進步,獲得了越來越多的性能和功能。這在消費電子產品且尤其但不排他地便攜式產品所使用的技術中是很明顯的,所述便攜式產品諸如是移動電話、音頻播放器、視頻播放器、PDA、可穿戴設備、移動計算平臺,諸如膝上型計算機或平板電腦和/或游戲設備,或者在物聯網...
          • 本發明涉及用于制造一種計時部件和/或一套計時部件的方法以及根據所述方法獲得的計時部件。更具體地,本發明涉及一種制造復合式計時部件的方法,該復合式計時部件具有兩部分,即,由諸如硅的第一材料獲得的第一部分,以及由諸如金屬的第二材料獲得的第二部分。在鐘表制造領域中,眾所周知的是例如通過硅來制造諸...
          • 本專利申請要求先前于2015年9月30日遞交的名稱為“用于操作MEMS裝置的結構參數的MEMS網格”、申請號為14/872,123的美國專利申請的優先權。該專利申請的全部內容通過引用并入本文中。所公開的技術一般涉及一種半導體裝置制造,并且更具體地,一些實施方式涉及一種微機電系統(MEMS)...
          • 本專利申請要求于2016年2月1日遞交的、名稱為“MEMS致動器組結構”、順序No.15/012,682的美國實用新型專利申請的權益,該專利申請要求于2015年11月5日遞交的、名稱為“MEMS致動器結構”、順序No.62/251,538,的美國臨時申請的權益。每個申請的內容通過引用以其整體并入本...
          • 本發明涉及一種用于二維地偏轉激光射束的設備,該設備具有:具有襯底開口的襯底;設置在襯底上的彈簧膜片,該彈簧膜片具有延伸到襯底開口中的彈簧臂以及布置在襯底開口中的由彈簧臂承載的中央區段,該中央區段能夠二維地傾斜并且能夠在彈簧膜片中央軸線的兩個方向上軸向滑動地支承;固定在彈簧膜片的中央區段上的鏡;用于...
          • 本發明屬于微納操作,具體涉及一種SEM下納米構件閉環操控方法及操作平臺設計方案。納米操作是在納觀尺度上通過施加外部場能使微納器件按照人的意愿進行移動、定位、拾取/釋放、整形等操縱以及裝配與封裝等作業,實現對整個微觀世界的有效控制,是微/納制造科學與技術研究的重要內容之一,是國際機器人學和納...
          • 本發明涉及微光學器件、微流體器件和半導體元件加工,更具體地說,尤其涉及一種微透鏡陣列的加工方法。微透鏡陣列作為微光機電系統中的一種常用光學元件,近年來得到了快速的發展和廣泛的應用,其在成像、傳感、準直、勻光和光釬耦合等領域具有重要的地位。由于在不同領域中,微透鏡陣列的參數也不相同,...
          • 本發明涉及的是一種微機電系統領域的技術,具體是一種硅微通道板中生長異質結的方法。不同二維材料構成異質結構不僅繼承了二維材料高比表面積等特點,同時具有獨特的物理性質和化學性質。近幾年,石墨烯與二維硫化物構成的范德瓦爾斯異質結構成為研究人員研究的熱點,主要結構包括橫向異質結構和縱向異質結構,其...
          • 本發明屬于無機納米材料領域,尤其是針對一種超長正交相三氧化鉬納米線在微電極上的高效有序排列形成陣列的操控方法及其離子檢測器的制作方法。介電泳技術是一種新型的有效的操控小分子以及納米材料的技術,這種技術已由傳統的電泳技術成功改進為介電泳技術,相比之下介電泳技術對粒子的收集與分離等方面具...
          • 本發明屬于微機電系統(MEMS)微加工,涉及一種基于聚酰亞胺的柔性靜電驅動MEMS繼電器的制造方法。技術背景MEMS繼電器因其體積小、功耗低、斷態漏電流小以及接觸電阻小等優點,被廣泛用于通訊和集成電路等領域。目前,大多數MEMS繼電器的基底材料是硅,可動結構(例如懸臂梁、彈簧等)的材料也通...
          • 本發明涉及MEMS器件,更具體地,涉及MEMS微硅麥克風結構及其制造方法。近年來MEMS微硅麥克風得到了迅速發展,并在智能手機、筆記本電腦、藍牙耳機、智能音箱等消費電子產品中得到廣泛應用。MEMS微硅麥克風主要包含了一個MEMS芯片和IC芯片,通過MEMS芯片將聲音信號轉換成電信號...
          技術分類
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